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半導体製造装置 SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
生活の「不可欠」をつくる
スマートフォンやコンピュータ、自動車、家電製品など、
私達の日々の暮らしになくてはならないものの多くに半導体は使われています。
その半導体製造に関わるシステム開発に参画しています。
WORKS 実績紹介
当社では、半導体チップを形成する重要な⼯程部分に関わるシステム開発に参画しています。
製造⼯程
電子ビームマスク描画装置
露光・現像工程で使われるフォトマスク製造装置システム（電子ビームマスク描画装置）の開発に携わっています。ナノメートル単位の精度でフォトマスクに 回路パターンを描画することができます。
CMP装置（Chemical Mechanical Polisher）
ウェーハと呼ばれる半導体の基板を平坦化する装置のシステム開発に携わっています。半導体の性能を最大限に引き出すためには、表面を極めて滑らかにする必要があり、ウェーハの凹凸を10～20ナノメートルの精度で均一化することが可能です。
